基于HPCVD的二硼化 镁超薄膜制备技术研究
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论文题目: 基于HPCVD的二硼化 镁超薄膜制备技术研究
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作者: 赵敏燕, 徐红艳* ,张 焱* ,孔祥东,韩 立
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刊物名称: 微纳电子技术
年: 2025
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