基于原子层沉积技术的高精度多层膜X？射线 菲涅尔波带片的制备研究,？光子学报,？2021年,
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论文题目: 基于原子层沉积技术的高精度多层膜X？射线 菲涅尔波带片的制备研究,？光子学报,？2021年,
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作者: 吴鹿杰，文庆涛，高雅增，卢维尔，夏洋，李艳丽，孔祥东， 韩立
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刊物名称: 光子学报
年: 2021
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