一种等离子体沉积装置及沉积方法
专利名称: 一种等离子体沉积装置及沉积方法
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2019.1.30
专利号: 2019100950204
第一发明人: 邵涛,张鹏浩,孔飞,章程,严萍
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
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实施情况:
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专利摘要:
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