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专著
专利
一种等离子体沉积装置及沉积方法
专利名称
:
一种等离子体沉积装置及沉积方法
专利类别
:
发明
申请号
:
申请日期
:
2019.1.30
专利号
:
2019100950204
第一发明人
:
邵涛,张鹏浩,孔飞,章程,严萍
其它发明人
:
国外申请日期
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国外申请方式
:
专利授权日期
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缴费情况
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实施情况
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专利证书号
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专利摘要
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其它备注
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