主要从事微米、纳米尺度下加工与检测技术的研究，发展在微/纳米尺度下的专有技术和相关装备，为我国微细加工/检测技术的发展提供战略性技术储备。在长期发展过程中建立了一整套微细加工/检测的配套设备，拥有800平方米净化实验室。部门由机械、自动控制、真空、材料和电子学等专业人员组成的科研队伍。
微纳加工技术与智能电气设备研究部的主要研究方向包括：电子束相关技术、微纳加工与检测技术、新型电气自动化技术。主要代表性成果有：自行研制了国内首台圆形电子束曝光系统、微米级可变矩形电子束曝光系统和缩小投影电子束曝光系统；研制的纳米级实用化电子束曝光系统和图形发生器在国家纳米科学技术中心、清华大学、台湾大学等三十余家科研机构得到应用；国内首次研制了基于激光干涉仪测量和柔性铰链位移台的可溯源计量型扫描电镜系统，可对微米以下标准样品计量标定，在国家计量院和国家纳米科学技术中心应用；开展了电子光学、高压绝缘、新型阴极和靶材等关键问题研究，实现了36%的电子束高效传输效率和微米级聚焦，研制成加速电压90kV、微焦斑尺寸1μm、剂量稳定性优于5‰的微焦斑X射线源，填补了国内空白；研制了国内首台基于SEM的彩色Nano-CT，并在中国工程物理研究院等单位获得应用；研制了国内首个260℃高温下可测量120000ppmV湿度的TDLAS产品，并应用于宁波久丰热电、石家庄藁城炼油厂等多家企业；开展了SF6/N2分解物中特征气体NF3、COF、N2O等的红外吸收谱特性研究和基于光声光谱技术的SF6/N2分解物检测技术研究，开发出用于电力行业的光声光谱仪。
